高精密主動減震平臺通常是使用三個串聯的隔振器
發布日期：2021-04-13 瀏覽次數：1878
高精密主動減震平臺適用于各類透射式電子顯微鏡(TEM)、掃描式電子顯微鏡(SEM)、發射式電子顯微鏡、探針顯微鏡、掃描隧道顯微鏡、原子力顯微鏡（AFM）、橫向力顯微鏡、白光干涉儀，光刻機，微納米結構和加工儀器！
減振臺采用減振技術，可以隔離6個空間方向的振動（包括水平方向和垂直方向），主動減振臺利用控制器內的壓電加速傳感器將外界振動的壓力信號轉換為電信號發送至隔離模塊中的壓電換能器中，隨后壓電換能器將產生一個與傳入壓力大小相等，方向相反的壓力信號來消除傳入振動。減振系統利用一個反饋回路消除隔振系統的機械共振。
高精密主動減震平臺通常是使用三個串聯的隔振器：傾斜運動隔振器在水平運動隔振器的頂部，水平隔振器在垂直隔振器的頂部。垂直運動隔振器如圖1所示，它使用一個傳統的彈簧，連接到一個由兩個彎曲件組成的NSM上，兩個彎曲件在它們的內端連接到彈簧上，并在它們的外端被支撐，并且通過力P被壓縮加載。彈簧被重量W壓縮，在高精密主動減震平臺的工作位置上，如圖1所示。高精密主動減震平臺的剛度是K=KS-KN，其中KS是彈簧剛度，KN是負剛度的大小，負剛度是撓曲和載荷P設計的函數。當彈簧支撐重量W時，可以使隔振器的剛度趨于零。
