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電感耦合等離子體質譜（ICP-MS）是分析材料中元素化學性質的分析技術，并在20世紀90年代成為一種成熟的分析方法。能夠準確定性及定量測定元素周期表中幾乎所有元素，包括難熔元素，分析范圍廣。能夠同時進行多元素同時分析，有效提供元素組成信息。還可用于待測元素同位素分析，廣泛用于同位素稀釋定量及穩定同位素示跑完。能測定極低濃度的待測元素，定量下限達1~10ng/L。響應靈敏度比其他大部分現代分析儀器高。
痕量分析中推薦使用的材料有以下類別：
1，氧化硅玻璃，尤其是人造石英，純度高，是痕量分析中最佳材質之一。主要優點有：不易受污染，表面平滑吸附性差，可耐1200℃高溫，可耐大部分無機酸，HF及H3PO4除外。
2，多聚氟化物，PTFE，PFA及TFM，消解過程中優先選用此類材質容器。由于表面非極化，對極性離子吸附最小，因此吸附或解吸造成的污染及損失很小。最大可耐溫度為250℃。優點在于這些材質幾乎可耐所有無機酸，因此可用于HF消解樣品。PFA與PTFE具有同樣outstanding的物理力學性能、電性能、化學穩定性、不粘性、阻燃性和耐大氣老化性。但PTFE的熔融溫度為327℃，但樹脂在380℃以上才處于熔融狀態，熔體黏度高，再加上其耐溶劑性ji強，因此它既不能熔融加工，也不能溶解加工。不能采用熔融擠壓、注射成型等常規的熱塑性塑料成型工藝，只能采用類似粉末冶金的方法進行燒結成型。PFA的熔點雖比PTFE低，但長期使用溫度卻與PTFE相同，而且高溫下的機械強度優于PTFE。并且PFA其突出特點是熱塑性良好，無PTFE那樣的加工困難的問題，因此有可熔性聚四氟乙烯之稱。PFA可采用模壓、擠出、注射成型來進行加工。在此更推薦PFA材質的容器做為樣品前處理的消解容器。
美國Savillex PFA Bottle
美國Savillex PFA廣口瓶
美國Savillex PFA溶樣瓶
又如聚合物材質容器的清洗：
①去除聚合物表面殘留物；
②用去離子水沖洗；
③放置在PFA大容量清洗罐中（代表產品：美國Savillex 4L大容量PFA清洗罐），加滿1∶4HCl，浸泡，至少放置1周；
④用去離子水沖洗；
⑤放置在PFA大容量清洗罐中（代表產品：美國Savillex 4L大容量PFA清洗罐），加滿1∶4HNO3，浸泡，至少放置1周；
⑥用去離子水沖洗；
⑦干燥。聚四氟乙烯容器清洗過程與聚合物材質容器相近，只是所用HCl、HNO3濃度為1∶1，并在80～90℃條件下保持至少4h。
Savillex 4L大容量PFA清洗罐
Savillex 4L大容量PFA清洗罐
合適的器皿，正確的清潔方式，才能最大可能降低污染對ICP-MS的干擾，得到理想的分析結果。
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